Rodzaje technologii plazmowych

Plazma niskociśnieniowa. Plazmę tego rodzaju wytwarza się w zamkniętych komorach, w próżni (od 10-3 do 10-9 bar). Zmniejszona ilość cząsteczek na jednostkę objętości w porównaniu do ciśnienia atmosferycznego zwiększa zasięg swobodnego przepływu i relatywnie zmniejsza liczbę zderzeń. Dlatego plazma ma słabszą tendencję do rozprężania się i może lepiej się rozprzestrzeniać. Niezbędnym warunkiem utrzymania próżni są silne pompy. Plazmy niskociśnieniowej nie można integrować z linią produkcyjną, jest to proces wsadowy.